1、 X向橫梁：采用精密(mi)斜梁技術。
2、Y向導軌：采用的直接加工(gong)在工(gong)作(zuo)臺上的整體下燕尾槽定位(wei)結(jie)構。
3、導(dao)軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸(zhou)承組成(cheng)的四面環抱式靜壓氣浮導(dao)軌。
4、驅(qu)動系統(tong)：采用本產高性能DC直(zhi)流(liu)柔性同步齒形帶傳(chuan)(chuan)動裝置，各(ge)軸均(jun)有(you)限位和電子控(kong)制(zhi)，傳(chuan)(chuan)動更快捷、運動性能更佳。
5、Z向主軸(zhou)(zhou)：可(ke)調節的氣(qi)動平衡裝置，提高了(le)Z軸(zhou)(zhou)的定位精度。
6、控制系統：采用進口的雙計算機(ji)三座標專用控制系統。
7、機器系統：采用計算機輔助3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和(he)高精度。
8、測(ce)量軟件：采(cai)用(yong)功能強大的3D-DMIS測(ce)量軟件包，具有完善的測(ce)量功能和聯機(ji)功能。
